2023-06-05 04:55:23 | 泵业信息网
干式真空泵是指泵在正常压力下可以启动泵送,泵送的气体可以直接排入大气。机械真空泵,泵腔内无油或其他工作介质,压力等于或接近油封真空泵。
对于普通的无油真空系统,虽然可以使用油封真空泵和附件来防止回流,但它们不能完全解决问题并使系统复杂化。使用合适类型的干式真空泵可以达到预期效果。
干式真空泵应用广泛,主要有以下几个方面:
1、低压化学气相沉积多晶硅制备工艺;
2、半导体蚀刻工艺。在这些生产过程中,经常使用干式真空泵或产生腐蚀性气体和磨料颗粒;
3、对于除半导体工艺外产生颗粒的某些工艺,预计颗粒不会混合到干式真空泵的泵油中,预计颗粒将从泵中排出。某些型号的干式机械真空泵可以满足要求;
4、化工、制药、食品等行业在蒸馏、干燥、脱气和包装过程中,应防止有机溶剂造成的污染,并应使用干式真空泵;
5、干式真空泵用作一般无油清洁真空系统的前泵,以防止油污染。
真空泵滤芯的过滤形式及使用维护进口真空泵滤芯是真空泵中的过滤设备,是过滤器的重要工作部件,过滤效果的好坏主要是靠滤芯的性能决定的。真空泵滤芯,在好凯德进口真空泵运转中主要过滤形式有三种:1、进气滤芯(能有效防止固体颗粒及细灰被吸入真空泵。降低机械磨损,提高运行可靠性。在延长泵的使用寿命的同时也能有效的保护系统元件.)2、排气滤芯(兼顾排气阻力,容尘量,油气分离性能,三者的立要求达到最优的平衡。
滑阀式真空泵的原理滑阀式真空泵的抽气原理与旋片泵相似,但两者结构不同。滑阀式真空泵是利用滑阀机构来改变吸气腔容积的,故称滑阀泵。滑阀泵亦分单级泵和双级泵两种,有立式和卧式两种结构形式。单级泵的极限压力为0.4~1.3Pa;双级泵的极限压力为6×10-2—10-1Pa。一般抽速超过150L/S的大泵都采用单级形式。这种泵可单独使用,也可作其它泵的前级泵用。1.工作原理
常见真空泵的类别很多客户对于真空泵的分类不是很清楚,之前用过真空泵的会很清楚自己想选哪种类型的,但是对于第一次选购真空泵的用户来说,是很困难的,因为在百度上一搜真空泵的分类,就会出现很多奇怪的文章,让客户感觉是雾里看花一样,终究理解的不是那么透彻。通俗来讲,真空泵分为三大类,即加水的真空泵、加油的真空泵和无油真空泵。1、加水的真空泵是指水环式真空泵,利用水作为工作液,靠泵腔容积的变化
真空泵的工作原理水环式真空泵/液环真空泵工作原理水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105Pa表压力。水环泵最初用作自吸水泵,而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中,如真空
真空泵滤芯的过滤形式及使用维护进口真空泵滤芯是真空泵中的过滤设备,是过滤器的重要工作部件,过滤效果的好坏主要是靠滤芯的性能决定的。真空泵滤芯,在好凯德进口真空泵运转中主要过滤形式有三种:1、进气滤芯(能有效防止固体颗粒及细灰被吸入真空泵。降低机械磨损,提高运行可靠性。在延长泵的使用寿命的同时也能有效的保护系统元件.)2、排气滤芯(兼顾排气阻力,容尘量,油气分离性能,三者的立要求达到最优的平衡。
水环式真空泵的工作原理水环式真空泵是液环式真空泵中最常见的一种。液环式真空泵是带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时,把液体抛向泵壳并构成与泵壳同心的液环,液环同转子叶片构成了容积周期变化的旋转变容真空泵。当工作液体为水时,称水环泵。水环泵主要用于粗真空、抽气量大的工艺过程中。在化工、石油、轻工、医药及食品工业中得到了普遍地应用,如真空过滤、真空送料、真空浓缩、真空脱气等。单级水环泵的极限
旋片式真空泵的工作原理1、如图为旋片泵的工作原理表示图,旋片泵主要由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零件组成。其构造是应用偏心肠装在定子腔内的转子(转子的外圆与定子的内外表相切两者之间的间隙十分小)和转子槽内滑动的借助弹簧张力和向心力紧贴在定子内壁的两块旋片,当转子旋转时,一直沿定子的内壁滑动。两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙型空间分隔成A、B、C三个局部,当转子按图示方向旋转时,与吸
真空泵滤芯的过滤形式及使用维护进口真空泵滤芯是真空泵中的过滤设备,是过滤器的重要工作部件,过滤效果的好坏主要是靠滤芯的性能决定的。真空泵滤芯,在好凯德进口真空泵运转中主要过滤形式有三种:1、进气滤芯(能有效防止固体颗粒及细灰被吸入真空泵。降低机械磨损,提高运行可靠性。在延长泵的使用寿命的同时也能有效的保护系统元件.)2、排气滤芯(兼顾排气阻力,容尘量,油气分离性能,三者的立要求达到最优的平衡。
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